检测设备

Micro LED 检查机

MIM-5050

特点: 操作方便,人工放置,自动位移; 自动量测,自动报表输出; 花岗岩底座,搭配气浮双重抗震; 高精度马达; 低人力,低维修成本; 连线管理(SECS/GEM) 选配

描述

    采手动放料与点灯
      提供Design guide与定位点图形，让客户在生产时可以依循
      可读取二维条码，0.5mm x 0.5mm (16 dots * 16 dots)
      设有离子风扇(Bar type)与ESD静电防护机制
      装设HEPA &符合Class 1000无尘室等级
      设置半透明PVC观察窗能即时监看目前检测进度
      花岗岩线马精密定位平台，X、Y行程580mm 重现性+/-1um 解析0.1um
      Z轴伺服精密定位平台，行程100mm重现性+/-2um 解析1um
      安装薄膜式避震器，减少震动影响
      设置对照式遮断光闸，维护作业安全

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规格表

机型	WIM-3020
外型尺寸	1100 mm x 1340 mm x 1670 mm
工作承重 (kg)	30 Kgs
工作台行程 X,Y,Z	580 mm x 580 mm x 100 mm
最大移动速度 X,Y	200 mm/Sec
光学尺解析度 X,Y,Z	0.1/0.1/0.5 (um)
光源	500 nm 白光 LED
CCD	½” 11M Pixels CCD
镜头倍率	10X (0.55um),3X(1.65um)……..
光学尺显示误差	X,Y ( 2.5+ L/100) , Z (4+L/100)
仪器重量 (kg)	約 900 Kgs

※实际规格以出货为准※

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