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檢測設備
Micro LED 檢查機
MIM-5050 Micro LED 檢查機- 特點
- 操作方便,人工放置,自動位移
- 自動量測,自動報表輸出
- 花崗岩底座,搭配氣浮雙重抗震
- 高精度馬達
- 低人力,低維修成本
- 連線管理(SECS/GEM) 選配
描述
採手動放料與點燈
提供Design guide與定位點圖形，讓客戶在生產時可以依循
可讀取二維條碼，0.5mm x 0.5mm (16 dots * 16 dots)
設有離子風扇(Bar type)與ESD靜電防護機制
裝設HEPA &符合Class 1000無塵室等級
設置半透明PVC觀察窗能即時監看目前檢測進度
花崗岩線馬精密定位平台，X、Y行程580mm 重現性+/-1um 解析0.1um
Z軸伺服精密定位平台，行程100mm重現性+/-2um 解析1um
安裝薄膜式避震器，減少震動影響
設置對照式遮斷光閘，維護作業安全
規格表
| 機型 | WIM-3020 |
|---|---|
| 外型尺寸 | 1100mm x 1340 mm x 1670 mm |
| 工作承重 (kg) | 30 Kgs |
| 工作台行程 X,Y,Z | 580 mm x 580 mm x 100 mm |
| 最大移動速度 X,Y | 200 mm/Sec |
| 光學尺解析度 X,Y,Z | 0.1/0.1/0.5 (um) |
| 光源 | 500 nm 白光 LED |
| CCD | ½” 11M CCD |
| 鏡頭倍率 | 10X (0.55um), 3X (1.65um)…….. |
| 光學尺顯示誤差 | X,Y ( 2.5+ L/100) , Z (4+L/100) |
| 儀器重量 (kg) | 約 900 Kgs |
※實際規格以出貨為準※